Hochwertige Ausrüstungsteile und
Systembaugruppen für die deutsche und internationale Hochtechnologie-Branche

VAKUUMTECHNIK

Hub-Drehdurchführungen (rotary - feed - through)

Wir entwickeln, konstruieren und produzieren Systeme für das Zuführen von flüssigen und gasförmigen Medien, bei gleichzeitiger Übertragung elektrischer Energien über axial (hebende) und radial (drehende) bewegte Systeme in vakuumtechnische Prozesse.

• 20 Jahre Erfahrung in der Herstellung vakuumtechnischer Komponenten und komplexer Systembaugruppen
• Unsere Produkte sind weltweit im Einsatz und arbeiten zuverlässig „rund um die Uhr“
• Namhafte weltweit tätige Unternehmen der Halbleiterbranche profitieren von unserem Know How
• Wir entwickeln innovativen Lösungen mit modernsten Hilfsmitteln 3D-CAD / CAM / FEM
• Unsere Leistungs- und Innovationsfähigkeit spiegelt sich wieder in diversen Patenten

Weit mehr als 10 Jahre liefern wir Hub-Drehdurchführungen in unterschiedlichen Ausführungen und Ersatzteile an UNAXIS (einem weltweit führenden Ausrüster der Halbleiterbranche), die als Schlüsselkomponente(n) in Sputter Systeme für das Beschichten z.B. in der Halbleitertechnik, oder Optik Anwendung finden.

Wir haben im Laufe der Jahre eine große Anzahl von neuen Systemen geliefert, repariert bzw. instandgesetzt und uns als zuverlässigen Partner im Markt positioniert.

Auf Grund einer Umstrukturierung dürfen wir im Einvernehmen mit unserem Kunden inzwischen namhafte Unternehmen des US-Marktes zu unseren Kunden zählen.

 NEUANLAGEN          ERSATZTEILE         REPARATUR / INSTANDSETZUNG

• Sputter System ZH 620 Fabrikat LEYBOLD bzw. UNAXIS Prozess CORONA
• Sputter System ZH 620 Fabrikat LEYBOLD bzw. UNAXIS Prozess EMERALD
• Sputter System ZH 620 Fabrikat LEYBOLD bzw. UNAXIS Prozess VANGUARD
• Sputter System ZH 660 Fabrikat LEYBOLD bzw. UNAXIS

 REPARATUR / INSTANDSETZUNG durch REINHARD FEINMECHANIK GmbH

• Anerkanntes Service-Unternehmen für Hub-Drehdurchführungen
• Sach- und fachgerechte Reparatur / Instandsetzung in Hersteller-Qualität
• Aktualisieren der Systeme durch Aufrüstung an den aktuellen Stand der Technik
• Verwendung von originalen Ersatzteilen für eine zuverlässige Funktion
• Funktionssicherheit durch herstellerspezifische Funktionstests
• Gewährleistung reparierter / instand gesetzter Systeme
• Kalkulierbare Kosten / Kostenvoranschlag
• Zügige Ausführung der Reparatur
• Ersatz-Systeme ( in Planung )

Hub-Drehdurchführung ZH 620,  Typ GY (ohne Verkleidung und Antriebselemente)

Drehdurchführung für Substratteller Z 660 (ohne Antriebselemente)

Drehdurchführung für Blende 1